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无线通讯用硅基微小天线的设计与制作

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无线通讯用硅基微小天线的设计与制作

内容简介：采角微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5 dB,谐振频率约为3 GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值.

作者：郭兴龙, 蔡描, 刘蕾, 游淑珍, 赖宗声,

关键词：微小天线, 高电阻率硅片, 集成电路工艺,

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