一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

　　由LM317搭建的稳压电源（见图6）提供40～ 70V的直流电压Vcout。这个直流电压输出值可由图中的滑动变阻器WR调整。Vcout通过上拉电阻加在 MOS管的漏级上，这样当MOS管工作在开关状态时，从漏级的输出的电压就在0V和 Vcout之间变化，就由此产生幅值为V cout的方波信号。可见，只要单片机输出的方波信号可控制MOS管的开关状态，即可使输出高幅值的方波信号与单片机由软件设计输出的方波同频率同占空比。但是单片机输出的信号大约在5V左右，若与后面加有高达40～70V电压的MOS管直接相连，这样当MOS管后级短路输出的高压很容易被引入单片机内，将单片机烧坏。因此必须采用措施避免这种危险的发生。在此设计中采用光耦使得后面输出的高电压与单片机工作时的5V低压安全隔离开。

　　3.3 终信号幅值的测量
　　最后输出的信号为方波信号，要想直接测量输出的峰峰值很困难。但分析完电路不难发现当MOS管截止时，MOS管的输出 Vout与稳压源提供的Vcout 几乎相等。由此可知可以通过测量稳压源输出的V cout直流电压，即可得MOS管输出方波信号的峰峰值。
　　在测量电压值不是很精确的情况下，可直接把稳压源提供的Vcout经电阻按比例分压，分出的电压通过A/D转换器和单片机处理，所得的结果乘以比例系数，即可得 Vcout的实际电压值。将这个值直接送显示部分，则很直观的显示出方波峰峰值。在我们实际设计的仪器中，显示的Vout测量值与空载时的输出值误差不超过±0.5V。证明在测量电压值要求不是很精确的情况下，这种方案是方便可行的。