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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

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阈值电压随扭梁的厚度变化图线

驱动电压与悬梁位移之间的关系曲线

  3 方案设计与分析
  其工作原理是先由单片机产生频率占空比可调的脉冲信号,但因最终信号的电压幅值在40~70V,远大于单片机的工作电压(5V),故将单片机产生的信号先接光耦隔离,再输出到后级的放大电路,然后根据放大电路的调整,输出峰峰值可调的信号。由此可见系统设计主要涉及三个关键部分:产生频率和占空比可调的方波信号、信号放大以及最终信号幅值的测量。

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