电子能谱仪的主要构造部分

电子能谱仪通常由激发源（X射线枪和电子枪）、离子枪、样品室、电子能量分析器、检测器和真空系统组成。XPS的激发源为X射线枪，AES的激发源为电子枪，除此之外其它部分相同。
样品室
样品室可同时放置几个样品，既可以对样品进行多种分析，又可以对样品进行加热、冷却、蒸镀和刻腐等。并且，依靠真空闭锁装置，可以使得在换样过程中对真空破坏不大。
X射线枪
X射线枪是X光电子能谱仪（XPS）的激发源。XPS用X射线枪的靶极材料为镁和铝，产生的MgKα和AlKα射线，经晶体分光后照射样品，激发产生光电子。MgKα能量为1253.6ev，AlKα能量为1486.6eV，分光后的谱线宽度为0.2-0.3eV。
电子枪
电子枪是俄歇电子能谱仪（AES）的激发源。由阴极产生的电子束经聚焦后成为很小的电子束斑打在样品上，激发产生俄歇电子。电子枪又分为固定式和扫描式两种，扫描式电子枪的电子束在偏转电极控制下可以在样品上扫描，电子束斑直径大约5μm，这种电子能谱仪又叫俄歇探针，利用俄歇探针可以进行固体表面元素分析。
检测器
电子能谱仪的检测器多使用单通道电子倍增器，由于串级碰撞作用，电子打到倍增器后可以有106-108的增益，在倍增器末端输出很强的脉冲，脉冲放大后经多道分析器和计算机处理并显示。
真空系统
电子能谱仪需要超高真空。因为，电子能谱仪是一种表面分析仪器，如果真空度没有足够高，清洁的样品表面会很快被残余气体分子所覆盖，这样就不能得到正确的分析结果；另外，广州市骏凯电子科技有限公司光电子信号一般很弱，光电子能量也很低，过多的残余气体分子与光电子碰撞，可能使得光电子得不到检测。因此，电子能谱仪要求10-7-10-8pa的真空度，为了达到这么高的真空度，电子能谱仪的真空系统由机械泵、分子涡轮泵、离子溅射泵和钛升华泵组成。