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小电流测量 噪声和源阻抗
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噪声会严重影响敏感电流测量。DUT的源阻抗和源电容都会影响SMU的噪声性能。
DUT的源阻抗会影响SMU的反馈安培计的噪声性能。当源电阻减小时，安培计的噪声增益将增大。图20所示为反馈安培计的简化模型。
在该电路中：
RS=源电阻
CS=源电容
VS=源电压
VNOISE=安培计的噪声电压
图20.反馈安培计的简化模型
RF=反馈电阻
CF=反馈电容
电路的噪声增益可由下式给出：
请注意，当源电阻(RS)减小时，输出噪声增大。由于降低源电阻会对噪声性能产生不利影响，所以在表1中根据电流测量量程给出了最小推荐源电阻值。
表1.最小推荐源电阻值
DUT的源电容也会影响SMU的噪声性能。一般情况下，源电容增大时，噪声增益也随之增大。尽管最大
源电容值存在限值，但是通过连接一个电阻或正偏二极管与DUT串联，通常能够在更高的源电容值下进行测量。二极管作为一个可变电阻，当源电容的充电电流为高时，其阻值很小，然后随着电流的减小而增大。
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