洁净室空气洁净度测试及方法

　　（一）空态、静态测试

　　空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。

　　静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

　　（二）动态测试 洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

　　洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的 检测 ，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

　　三、空态、静态测试

　　（一）测试前的准备

　　1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

　　2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30，000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2--3厘米处，可以2～4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

　　当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒超过3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

　　（二）测试内容

　　1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

　　2、洁净室压力值;

　　3、层流洁净室断面风速和气流流向;

　　4、洁净工作区的洁净度;

　　5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

　　6、洁净室内噪声。

　　（三）洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数。也可采用滤膜 显微镜 计数法。光散射粒子计数法：

　　1、光散射粒子计数器采样量 100级：每次采样量大于或等于1升。 l，000级-l0，000级：每次采样量大于或等于0.3升。 100，000级：每次采样量大于或等于0.1升。 对于100级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试; 如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。

　　2、采样注意事项：

　　（1）采样管必须干净，连接处严禁渗漏。

　　（2）采样管的长度，应根据 仪器 的允许长度。当无规定时，不宜大于1.5米。

　　（3）采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。

　　（4）采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。

　　3、测点布置

　　（l）检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米

　　（2）层流洁净室测点总数不小于20点，测点间距为0.5～2.0米，粒径大于或等于0.5微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。

　　（3）乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点（附图2）。 每增加20-50平方米，增加3--5个测点。

　　4、数据整理

　　（1）每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。

　　（2）对于大于或等于0.5微米的尘粒数确定：层流洁净室取各测定点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。

　　（四）正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。

　　四、动态测试。 在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。