基于高吞吐率WLR测试的 ACS集成测试系统（一）

图1. 采用SMU-per-pin（每管脚SMU）架构的ACS集成 测试系统举例

引言

随着器件继续小型化，半导体器件可 靠性测试以及器件寿命预测面临极大挑战。由于新材料和新工艺的复杂性增大，器件 失效的随机性也在增加。1 这需要产生更 大的统计样本测试数据。虽然传统的应力 -开关-测量可靠性测试技术能实现庞大数 量的器件测试，但这种方法可能存在问题。使用TDDB，工程师需要监测软击穿和渐进 式击穿。采用NBTI，必须最小化器件弛豫并以极快的速度完成测量。在测试单个器 件的层面上，某些问题还是可控的，但在 实际时间段内顺序测试单个器件不能提供 大量的统计样本数据。

此应用笔记讨论了如何克服ACS集成 测试系统和SMU（源-测量单元）-per-pin 配置条件下的可靠性测试挑战。使用吉时 利2600系列源表和自动特性分析套件（ACS） 软件，可以针对越来越复杂的测试（例如 TDDB、NBTI和HCI）实现中等规模系统（20 ～40引脚）。由于ACS中含有全自动探测器 控制和自动测试序列功能，因而可以实现 高吞吐量测试。去除开关后，SMU-per-pin 配置在提供系统灵活性和易用性方面还起到 了重要作用。此外，ACS提供了集成测试流 环境、方便的点-击操作，而且包含常规可 靠性测试，例如： • TDDB、Vramp、JRamp（JEDEC标准测试） • HCI（NBTI）、即时NBTI、NBTI快速SMU • EM、等温EM（JEDEC标准测试） 用户可以利用标准库的模块作为模板， 用ACS快速开发自用测试。图2示出了用ACS 进行TDDB测试的例子。

图2. 在ACS图形用户界面进行TDDB测试设置的例子

SMU-Per-Pin WLR测试

SMU-per-pin的理念非常简单——从系 统架构中去掉开关矩阵并用独立SMU代替漏 掉的引脚连接。用创新的TSP-LinkTM 将几 台2600系列仪器连起来像一台仪器那样工 作。为了更好地理解SMU-per-pin架构的优 点，请考虑下面两种情况。 • 测试共用引脚结构 • 同时测试几个器件的可靠性

共用衬垫/引脚测试结构

考虑图3的共用引脚器件。4个MOSFET 共用栅极和衬底引脚连接，而且每个MOSFET 的漏极和源极引脚单独连接。共用SMU配置 可以使用4台SMU和一个开关矩阵顺序测试器件。将结构划分为几个较小的设备后，测试 时间因开关而延长了。此外，劣化恢复出现 在大多数可靠性测试的开关过程中，从而使 测量的劣化和接下来的寿命预测出现变化。在此情况下的共用SMU架构存在另一个 缺点。在测量一个器件时，剩余器件受栅极 电压变化的影响。这会给栅极应力带来不应有的变化。SMU-per-pin架构具有消除开关 延时、实现并行测试的显著优点，这无需驱 动每个结构的栅极。

图3. 共用引脚器件的原理图

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