无线控制水平仪精确实现自动化设备校准

    WaferSense ALS水平仪有助于降低设备制造商的整体成本，并缩短校准晶圆加工设备的时间，适用于150mm、200mm和300mm晶圆加工。该水平仪具有薄、轻等特点，可置于基板(Cassette)、FOUP、末端效应器、前轴定位器、负载锁定及处理仓等部位，从而确保各个部位都处于水平与共面状态。

    该器件提供±0.03°精度，可测量共面并实现相关工具的精密调节。这种无线产品可用于常态或真空环境中，并提供一个HEPA过滤器，以去除任何进入该传感器中的颗粒物质。

    与传统有线或手动方法相比，由于无需停机或打开真空反应器，WaferSense ALS可显著缩短工具的配置、试运行、故障、维护等操作时间。

    WaferSense ALS可使用户便捷地利用LevelView的实时level bubble图形反馈来设置水准或进行水平测量，水准可设置为该传感器工作范围内的任意参考平面，用户可定义Go/No Go区域和记录数据，并标注后面的参考平面。参数读出装置靠电池供电，传感器的温度和连接状态可真实地出现在控制面板上。

    该WaferSense传感器一次充电后可连续工作6小时以上，需要充电会自动进入充电状态。WaferSense ALS可通过蓝牙通信方式与膝上电脑的USB端口进行无线连接，并可在Windows 98SE/2000/ME/XP等操作系统中工作。