WLR测试中所面临的新挑战

更进一步，每一个SMU含有两个A/D变换器，可以同时进行电流和电压测量。于是减少了延迟并增加了测试吞吐率。另外可以方便地对该系统的规模进行升级，见图9。

图9：构建升级系统非常容易，可以实现高达8?6个SMU通道。

充分利用SMU测试序列(可选)

在从单一源-测试仪器向SMU转换时，吞吐率方面最大的收益来自于系统程序的改变。不再用基于计算机的控制，而是让SMU的测试序列器和程序存储器来控制测试。这就充分利用了SMU的许多特色和功能，例如四象限操作，电压和电流扫描，内置的波形产生器，程序深存储器，皮秒级的灵敏度，5位半数字分辨率，判定测试通过与否的测量比较器，以及用来控制其它设备的I/O接口。

所有这些功能把Keithley 2600系列SMU提升到了一个新高度。其嵌入式测试脚本程序增强了灵活性，自动执行测试的能力非常强大。用户可以利用一台仪器实现很多应用，硬件/软件集成任务大为简化。人们能够容易地为精密DC、脉冲、低频AC源-测试构建具备成本效益、可升级、具有大吞吐率的测试解决方案。

2600系列仪器在I-V可靠性测试应用中，能够提供比其竞争对手高2-4倍的测试速度。还能提供更高的源-测量通道密度和低成本。在每个测试点上，模数转换器提供小于100?s的电流和电压的同时测量，源-测量扫描速度小于230?s。其高速的源-测量能力，加上嵌入式测试脚本，使得吞吐率比通过GPIB来运行基于计算机的程序提高了多达10倍。

结论

目前半导体测试又一次面临新兴的测试需求远远超过了现有系统能够提供的能力的局面。需要改变测试系统架构来成功满足新的测试需求。Keithley 2600系列代表新一代的智能SMU，其架构能够提供高吞吐率，数据完整性，在半导体可靠性测试项目所需的扩展和重新改变用途方面具有很大的灵活性。

作者：Joey Tun

应用工程师

　　　Keithley公司