220 GHz滤波器的设计

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一种220 GHz滤波器的设计

内容简介：基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程，设计了一个220 GHz 带通滤波器。滤波器采用玻璃片—硅片—陶瓷片结构，由硅片形成电感膜片结构，玻璃片、陶瓷片键合在硅片上形成闭合的谐振腔，采用集成电路的制作工艺，在加工前分析了工艺特性，优化了滤波器尺寸，避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试，测试结果表明，滤波器在220 GHz具有通带特性，带内损耗约为7 dB。

Abstract：10.11805/TKYDA201303.0355

作者：吴中川,

关键词：太赫兹, 滤波器, 电感膜片, 集成电路

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