新型MEMS可调滤波器的设计

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一种新型MEMS可调滤波器的设计

内容简介：提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案.基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20 GHz的二阶带通可调滤波器模型.通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析.仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部分的MEMS电容高度,该滤波器中心频率在18.71～20.62 GHz连续可调,相应的3 dB带宽值为2.36 GHz和2.94 GHz.该滤波器9.5%的可调率相比于同类型均匀分布式滤波器的可调范围增加了大约18.6%(300 MHz).通过分析可知,采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器不仅结构更紧凑合理,而且获得了比均匀结构更大的调节范围,极大地增加了设计的灵活性.

作者：李世峰, 刘锋, 王高峰, 叶双莉,

关键词：微机电系统(MEMS), 滤波器, 共面波导, 连续可调, 非均匀分布

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