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基于MEMS工艺的太赫兹波导窄带带通滤波器
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基于MEMS工艺的太赫兹波导窄带带通滤波器
内容简介： 太赫兹滤波器在太赫兹通信和雷达系统中起着举足轻重的作用.本文采用附加传输零点的二阶波导滤波器形式,设计了一种中心频率为390GHz,相对带宽仅为2.5％的太赫兹波导滤波器,并基于MEMS体硅工艺技术加工了太赫兹滤波器样品.对该滤波器利用矢量网络分析仪进行测试,结果表明,带内最小插损为4.5 dB,回波损耗优于17.7 dB.
作者：张勇, 谢善谊, 胡江,
关键词：太赫兹, 滤波器, 波导, MEMS工艺
