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GaAs基MOEMS波长可调谐滤波器的设计和理论模拟

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内容简介：采用传输矩阵理论和结合悬臂梁的电学一机械模型对GaAs基1.55 μm微光电机械系统(MOEMS)波长可调谐滤波器的光学和电学特性进行了深入的对比分析和研究.结果表明,采用800 nm厚的空气腔可以实现滤波器波长的调谐范围为100 nm,所需最大反向偏压为4 V,波长的调谐速率可以达到1.83 MHZ.

作者：秦龙, 韩勤, 杨晓红, 朱彬, 鞠研玲,

关键词：微光电机械系统, 密集波分复用, 调谐范围, 滤波器

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