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基于微F-P腔阵列可调谐滤波器的超光谱成像技术

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基于微F-P腔阵列可调谐滤波器的超光谱成像技术

内容简介：基于MOEMS(微光机电)技术,研究了一种微F-P腔阵列的可调谐滤波器.根据设计的不同,调谐范围可在可见光、近红外、中远红外.以8-10 um长波红外为例,设计了微F-P腔的增反膜,中心波长反射率达99.2％.这种调谐滤波器,可以精确、快速调谐波长,体积小,重量轻,在超光谱成像系统中有着广泛的应用前景.

作者：马宏, 陈四海, 王明, 赖建军, 易新建,

关键词：微F-P腔阵列, 超光谱成像, 微光机电, 可调谐滤波器, 增反膜

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