用sonnet仿真硅衬底上的共面波导要注意些什么？

仿真了很久，但是总也不正确，在低频下的s参数和测量值不符合，s11的测量值在50Mhz的时候是-25，而仿真值是-40，高频比较符合，只是低频不对。
测量结果绝对是正确的。
我就不知道在si衬底上仿真共面波导有什么特点。si衬底的电导率设定了，端口也是+1、-1这样加上了。
低频段我觉得是衬底什么地方没搞好，si02厚度为10，si厚度为750，金属厚度未知。

 

反正我觉得用这个软件做微带还是比较准确的

 

我在用pspice做微带线的仿真，但是si衬底的电导率是怎么查到的呢，我看书上说，si衬底的电导率在0.000几到100000都有值，一般的芯片si衬底的电导率都在那个数量级上呢？
新开始学这个，很菜

 

还想问问，书上说微带线有三种模式，慢波模式、趋肤效应模式、介质准TEM模式，我现在想用这几个模式给出的公式计算微带线的等效电阻、电容、电感电导参数，但是除了si衬底的电导率不好确定之外，还有其他一些参数，比如下面8-2里的eox是啥呀
大家计算的时候都用下面的公式么，还是用些别的

 

你做的东东太细了，偶没做过，呵呵，不好意思了先。

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