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HFSS不能仿真低频?

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今天想看一下1M到100M信号下器件的电容值
无奈器件尺寸太小了,只有几十um
用hfss不收敛,有没有什么别的办法或软件来仿真?一定要3D的
Ansys是不是要一个频率一个频率自己做啊?
maxwell怎么样?

 

cst试试

 

feko可以

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