CPW的HFSS模拟跟测量结果差别很大
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还好大致趋势是一致的
但S11模拟值比测量值好太多了
而且有一个谐振点，位置也不一样
模拟值在3.6G，测量值在6.3G
实际是在Si上生长SiO2和Si3N4
然后用9微米厚的金形成CPW
问题出在哪里呢，该从哪个角度修改模型？
但S11模拟值比测量值好太多了
而且有一个谐振点，位置也不一样
模拟值在3.6G，测量值在6.3G
实际是在Si上生长SiO2和Si3N4
然后用9微米厚的金形成CPW
问题出在哪里呢，该从哪个角度修改模型？
cwp是啥
coplanar waveguide
共面波导
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