MEMS开关频率达到26GHz，可用于制造各种RF器件

        MEMS开关制造商TeraVicta Technologies公司将推出号称世界上最快的MEMS开关。

        这种26.5GHz的单极双掷开关尺寸为3.25×4.5×1.25mm，适用于数字电视、卫星通信和定向雷达等领域。在此之前，该公司曾在去年推出7GHz的MEMS开关，用于自动测试设备（ATE）和RF无线领域。

        TeraVicta公司CEO Ray Burgess说：“我们的7GHz MEMS开关的插入损耗为零，几乎就像一根线，这使之在RF无线设备的天线间转换时几近完美。”

        在MEMS开关发明之前，高频转换都是由发明于20世纪70年代的机械式或者干簧继电器来完成的。MEMS技术提高了转换效率。TeraVicta表示，已经有6家顶级ATE制造商、9家芯片厂商以及8家顶级仪器制造商中的5家选择了它的产品。

        Burgess说：“我们以喷镀、蚀刻和电镀在陶瓷或玻璃底层上的MEMS芯片代替了笨重且寿命短的继电器。我们已经建立了自己的工厂，在净室环境中制造MEMS开关，直到最终的密封封装。”

        TeraVicta目前在德州的工厂每月可产MEMS开关10000套，并正在香港申请开设一家新工厂，新工厂将能在2007年年底前达到每月100万套的产量。

        TeraVicta公司还计划推出双极双掷和单极四掷型MEMS开关，用于无线RF应用中的分段式天线，并打算开发用于光骨干网和RFID基站的产品