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版图上rpoly电阻衬底接内部5V电源会出问题么?

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做了一个IC,下图是基准模块,是芯片偏置电流和偏置电压的产生源,电阻串采用rpoly电阻,衬底接内部VCC=5V电源。为了某些要求,采用2t电阻,没有用3t电阻。


按道理来讲,rpoly电阻衬底接芯片的GND比较好,因为干扰会小些。
现在芯片回来测试,发现芯片有好的,有坏的。
好的基准电压比较稳定:




坏的基准电压不稳定:




但是两者的直流值是没有变化的,只是一个是稳定的,一个不稳定。
这个会是什么原因呢?会不会是基准被VCC干扰,反过来干扰VCC,两者之间形成一个环路?
如果是的话,那为什么有些芯片是好的,有些芯片是有问题的呢?

密勒电容PM1两端的电压各是多少啊?这个bandgap的VCC电压调低,相位裕度会增加的吧,把VCC尽量调低试试,用甚至低于标准的电压试试,例如bandgap的正常输出是1.2V,你把它调到输出1.1V试试,看看这个波纹还在不?另外PW1的直流电流是73uA吗?


   这个模块应该问题不大啊,我做FIB把VCC拉出来了,在外面放置一个稳压电容,基准值就稳定了。难道还有可能是前面的VBG也不稳定,电源也是VCC的。   而且那个测试波形不像是环路不稳定,像干扰。

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