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IC上电源和地的滤波电容为何用MOS电容

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IC上电源和地的滤波电容为何用MOS电容,是因为电容密度大吗?按道理,poly电容也是可以的。还是说要从ESD等其它角度考虑?谢谢

MOS电容的电容密度大应该是个考虑因素

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