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Process PCM Specification是什么意思

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请问一下大神,工艺文件中提供的Process PCM Specification文件中的PCM代表什么意思啊?PCM时什么的缩写啊?有知道的大神麻烦告诉我一下,非常感谢!

process control moniter,监测器件的主要的参数有没有超出spec

For fab, they wll test some device parameters to control or moniter their process vaviation. Such device will be integrated in the GDS reticle, at the scribe line which will be used for die sawing during package process.



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