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有没有解释工艺库参数的资料

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各位大侠,有没有什么资料解释工艺库中各个参数的意思。像如toxp,toxm,toxe等这些都不知道代表什么意思。请问有什么解释的资料么?急求!

Bsim3V3 mannual或Cadence自带的文档spectremod关于bsim3v3的

楼上正解

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