Designer MIM CAP 問題
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各位大大好
最近想跑MIM 電容的EM 模擬
我使用的是Designer 軟體
現在卡在要設定CTM的材質
我目前有M6 打VIA到 CTM CTM下面是M5
目前CTM材質設跟M5一樣
那厚度跟起始高度都比照PDK給的
跑出來是有問題的
所以想請問CTM的材質 以及CTM 到Metal 5 之間
有要額外加甚麼介電質嗎 還是IMD55 就可
感恩
最近想跑MIM 電容的EM 模擬
我使用的是Designer 軟體
現在卡在要設定CTM的材質
我目前有M6 打VIA到 CTM CTM下面是M5
目前CTM材質設跟M5一樣
那厚度跟起始高度都比照PDK給的
跑出來是有問題的
所以想請問CTM的材質 以及CTM 到Metal 5 之間
有要額外加甚麼介電質嗎 還是IMD55 就可
感恩
这个应该问foundry吧
MIM 电容的 CTM 是在top metal 之上的。小编要知道的parameter 是top metal 与top-1 metal 在有CTM 覆盖时,这两层金属间的IMD 的厚度为多少...
请注意,有CTM layer 的IMD 比没有CTM 的薄很多.
这个foundry都提供啊
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