求助几个典型工艺的电容精度相对误差

最近在用matlab仿真SAR ADC，需要仿电容阵列的mismatch的时候，想考虑实际工艺情况，所以请问各路大神，有木有电容误差方面的资料呀?比如说GSMC、TSMC、SMIC、华虹NEC等等（貌似应该还有不少别的吧，我目前只接用过前两个==），这些工艺的电容mismatch的相对误差有多大呀?求指导，要是有资料什么的就更棒啦。小女子在此拜谢[抱拳]

   作为一个designer，应该要学会自己查工艺厂的文件。工艺厂的文件你没有吗?

   你可以自己做蒙特卡洛仿真看Mismatch

   谢谢小编指导，不过工艺厂的文件我没有呢，我网上搜不出来==的确是信息获取能力得好好加强下。如果小编有的话，能不能提供下资料呢，谢谢啦

   恩，也对，不过我现在还没有开始搭电路，只是用matlab搭好了模型，正在仿真阶段，后面实际开始做的时候，这些都要做的，谢谢指导O(∩_∩)O~

   抱歉，这些东西是不能上传到这个网站的。你可以直接找工艺厂要啊，他们会给你相关文件的。

这是要签NDA所谓，你还是看自己有的PDK

   哦，这样啊，我才学习了一年，很多东西还不清楚，任重而道远，继续奋斗。还是谢谢小编啦O(∩_∩)O~

   你是在学校?一般来说学校都会有的，你自己找找，或者问一下老师
   如果是在公司，那是绝对有的！

   恩恩，好的，我刚研二，到老师公司实习一个多月啦，那我问问老师

发你两个我们在ADC实测后得到的一些结果（.18um CMOS节点, MIM cap），供你参考
单位电容面积        σ_mismatch        PDK文档中的σ_mismatch
200μm2                0.35‰                        1.8‰
400μm2                0.27‰                        1.27‰

   好的，谢谢啦。话说你做的是12bit的ADC不，测出来效果这么好啊，好厉害！

    16b居多，14b也有

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