SMIC0.18um工艺的铝层厚度是多少
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请教下谁知道SMIC0.18工艺的铝层厚度 应该是指M6的金属厚度。
PS：封装的时候要求提供。
谢谢！
PS：封装的时候要求提供。
谢谢！
查smic提供的工艺文件，里面说的很清楚。
SMIC工艺文档中查找即可。
一般M1~M5的thickness 均为4500A。
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