一个用于SAR ADC的采样电容疑问
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下面是SAR ADC采样电容的一个单位电容，版图层次如下（SMIC工艺），M1M3M5连一起是一个极板，M2M4连一起是另一个及板；这种电容不像常规的MIM、MOM电容，不知道是什么电容?有什么优点?还有TN层是什么层?什么作用?有知道的大神吗?M1V1
M2V2
M3V3
M4V4
V4M5
TN层
另外还有一层NW层
没人知道吗?
用的是上下层金属间的电容，底极板包住了顶极板；还有什么特别的优点?
TN层是什么?
叉指电容。极大地节省了芯片面积
利用普通金属层做平板电容。
相比MIM少光罩
相比MOM， 精度和一致性更好，单位电容密度稍小。
你的回答靠谱，TN层和NW层像是用来隔离衬底的干扰
我还以为是MOM。
请问您是做SAR ADC的吗，能交流学习下吗
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