什么是电阻的非等平面性?
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5.5.6讲到金属电阻时
上层金属导线可以布在下层金属电阻之上
但是
下层金属导线或硅导线不能布在上层金属电阻的下面
WHY?
先假设上层是左右走向的,下层是垂直屏幕走向的,
图中上层如果是导线,电阻率低,对于长度不敏感,没影响;上层如果是电阻,那么实际长度就变长了,电阻值也相应增加。
上层金属导线可以布在下层金属电阻之上
但是
下层金属导线或硅导线不能布在上层金属电阻的下面
WHY?
貌似有台阶效应
往上或往下不都有台阶吗?
你没搞清楚什么这里的台阶是什么。
如果下层有布线,在连线表面的二氧化硅其实是有一定突起的,高于其他没有布线的位置,形成所谓的台阶。在投影一样大的情况下,上层电阻区域的面积实际上就变大了,从而影响了等效方阻,降低了精度。
画个图给你看下
先假设上层是左右走向的,下层是垂直屏幕走向的,
图中上层如果是导线,电阻率低,对于长度不敏感,没影响;上层如果是电阻,那么实际长度就变长了,电阻值也相应增加。
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