有关IBM 8WL工艺中的subc_inh的问题
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请教牛人：哪位用过IBM 8WL的工艺中的subc_inh的，其中可以通过调节宽，长来改变电阻，请问这个电阻是两个节点之间的?
我的理解是这个器件是将电路地和晶圆地连接在一起的，但是如果其间有电阻，那是否意味着这两个地不是同一个地呢?
谢谢！
我的理解是这个器件是将电路地和晶圆地连接在一起的，但是如果其间有电阻，那是否意味着这两个地不是同一个地呢?
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