DRC rule density问题
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如上图，这是SMIC130工艺下的DRC rule
求问：“DENSITY Mli < 0.16 WINDOW 200 STEP 100 PRINT density_report_M1a.log”中的WINDOW 200 STEP 100怎么理解?
检查density的时候 会有个window 在这个window里面计算density
所以会有个window的size 一般chip的size要比这个大 所以窗口会移动 这时候就有了这个step
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