90nm 65nm 45nm 下各金属层和ILD厚度
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手头没有工艺文件，需要金属互连线参数建模分析延时和功耗各金属层和ILD（主要是顶层）厚度是多少? 介电常数?
多谢！
有工艺库的，又怎么找
同问、、、、、、
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