对于相同65纳米不同foundry的一些问题
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我想请教一下，比如smic和global的65纳米工艺，就金属材质来说，两种工艺的me5、me6的电导率会差很多吗?大概是一个怎样的范围?
自己查一下这两个工艺的design rule或者pcm，这种查文档问题尽量要靠自己来解决
如果真的发现两者有很大出入，再拿出讨论才是一个topic
就是因为找不到才问的，只有global木有smic的
Digitasdl Integrated Circuits (International Edition) g
不知道你手头有什么，
如果有smic 65nm design rule，那里面会写
如果有PDK，可以把metal 电阻拿出来，上面明明白白的写了方块电阻
如果什么都没有，那只能给你一个大概参考值，薄metal在0.15~0.2ohm/sq，top metal大概0.02ohm/sq
建议先搞清工艺的metal scheme，不要简单比较m6，因为有可能是1p6m，也有可能是1p9m，那样毫无意义
嗯嗯，谢谢指教！
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