谁知道tsmc工艺里面sh_p和sh_n层是什么？
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谁知道tsmc工艺里面sh_p和sh_n层是什么，是p-epi吗?
看起来像
那sh_n又是什么?
看起来像
那sh_n又是什么?
shallow p , shallow n
谢谢！
我看rule，感觉
耐压 SH_P>HVPW>PW，SH_N>HVNW>NW。
不知道这个推论是否正确?
还有这个是外延生长的吗?还是注入的。
不清楚
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