请教---何谓seal ring?
1.版图中啥是seal ring?
2.它有何作用?
3.如何设计?
4.有何相关注意事项?
同问,在pdk里看到乐,不过不知道怎么用
Seal ring is the ring between chip die and surrounding scribe line to protect die from damage when the die is cut from the wafer.
You can find special design rules in the doc provided by foundry.
thanks a million!
could you please tell me the detais? how to layout it ?
anyway,i do appreciate your answer all the same!
方法方法方法方法方法方法
怎么画一般在厂家的design rule里面会说的。会有详细的纵向剖面图和尺寸画法。
一般就是(psub工艺):diff-pimp-cont-m1-via1-m2-via2-topmetal-pad
相邻的cont,via层的图形必须错开。有时cont,via并不是画成一个一个小方块,而是一个长条。
Seal ring is the ring between chip die and surrounding scribe line to protect die from damage when the die is cut from the wafer.
那它的材质呢?金属?Si》?
材质。
金属+硅。。
還有防水氣由 wafer 側邊進入 IC 的功能. 所以 VIA / Contact 都打一條的.
防切割应力,放空气中杂质、游离物质渗入,外围衬底的良好接触
水汽。怎么防?
seal ring,隔离环,把芯片比作房子的话,seal ring就是四面墙。
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