MOM电容
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使用MOM电容做match,
旁边需要做dummy吗?
能做dummy就做,不能做就算了
通常来说加dummy是比较困难的
一个是面积很大,还有就是四周加MOM dummy后,走线就非常困难了
But MOM compare to MIM matching controlability ?
我觉得在MOM电容阵列周围加DUMMY对提高匹配性没有太大作用,MOM电容是靠金属叉指之间的横向电场形成的,过刻蚀对所有叉指的影响是一样的
加dummy没有什么用吗?
非也。
没MOM的使用经验,但个人感觉加dummy应该有好处的。
现在用的工艺也是mom电容,但是还不是很理解版图的布局
我们的实际做法是要加的,如果你是做A/D, D/A,SwitchCap, 等等。当然如果你不在意波动可以不加。
一定得做成阵列吗?
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