高方阻值的poly电阻
最近用SMIC工艺,发现poly方阻电阻只有38欧姆,太小了。能不能用active电阻或者tim电阻替代啊
还有带sab层的ploy电阻,那个方块电阻大些
我说的那个38欧就是rgpsab。已经带了sab
用sab 高阻 highpoly
sab 方块电阻38欧?太小了吧?
sab 起码250~350欧/方以上的。
你说的几十欧的应该不是
这不。没有其他的了。
我咋就这么滴悲剧捏。
这是Nplus和Pplus sab Res,我说的是poly sab
从你的表上看好像是如你所说的那样,但是你说的这个smic035我用过,里面有高阻poly的,1k/sqr吧
那个GPsab就是poly电阻。
你说的是不是MS,LO等工艺,如下表所示。但是我用的是EE工艺,我怀疑是不是hrpoly用来做EEPROM的栅极了。所以导致没有高阻poly了。
原来这样啊,我用mixed signal的,eeprom的就不知道了
这个poly应该只是做 salicde block 但是没有做implant block
所以这个应该还是 P+ or N+ poly,方块电阻自然就很小
看来是这样的了,我要悲剧鸟。
trim res是什么电阻,建议你仔细读design rule,搞清楚这些电阻类型,看看需不需要多用mask
需要多用mask,不过EEPROM总是要用的,所以也还好。
好像是有高阻的
加上SAB后既然方块阻值变那么大,看来片外trim res还是不能加SAB了,foundry没提供片外trimming rule真头疼啊......下周就TO了......
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