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fuse window可以用pad window来做吗?

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有人用过metal fuse吗?
fuse window可以用pad window来做吗?
还是必须fuse window?

没人,自己顶一个

没懂你的意思,“fuse window可以用pad window来做吗?还是必须fuse window?”还有单独的fuse window层吗?没见过。foundry都会有FUSE的design rule提供的。fuse上面一般是要用PAD层打开的,保证FUSE烧断后metal挥发出来。否则可能会导致metal烧掉后又短路,或表面钝化层开裂使芯片失效。但也有foundry fuse上不打开的,好处就是不会因为fuse上面开窗侵蚀芯片内部电路。这要看foundry工艺怎么做稳定了。

是,谢谢
用PAD window打开,有好处也有坏处,所以有foundry有专门的fuse window,它可以使metal烧掉后不短路,window上面也不是完全开窗使芯片受侵蚀

LZ 联系代工厂  叫他们给你提供规则

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