CMOS工艺

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求助:CMOS工艺的变化,会影响MOS管的哪些参数?是否有影响,比如由.13变成65nm工艺?

vth,载流子迁移率,速度饱和点
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关于短沟道效应下的cmos工艺变化,可以参考http://bbs.eetop.cn/thread-316211-1-1.html

vth,载流子迁移率,速度饱和点
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