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BSIM3v3 CGS0 CGSL 是什么意思呢？

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CGS0 Non LDD region source-gate overlap capacitance per channel length
CGSL Light doped drain-gate region overlap capacitance
请教是这两个是什么意思?

我自己贴个答案，不一定对
CGS=CGSL+CGO

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