高手进,求教~
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设典型PN结隔离工艺允许的最小线宽、
外延层的厚度和各相关图形间的间距都为W,
画出最小面积NPN晶体管图形和剖面结构图,
并分别估算W为1μm 和0.5μm时,在1cm2的
芯片面积上可以制作多少各这种相互隔离的最
小面积晶体管。
外延层的厚度和各相关图形间的间距都为W,
画出最小面积NPN晶体管图形和剖面结构图,
并分别估算W为1μm 和0.5μm时,在1cm2的
芯片面积上可以制作多少各这种相互隔离的最
小面积晶体管。
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