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layout中的pattern density问题

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最近做layout,DRC时一直出现pattern density问题,我用的是calibre 2008,请问如何解决啊?网上说加dummy cell,这是啥东西啊?

有没有懂layout的大师解答一下啊,谢谢啊

是不是metal 的 density不够?如果是的话,一般这是在做等层的时候才去解决!

网上说加dummy cell,其实只不过在layout 顶层 加一些dummy metal 去满足metal density!

你是画layout的么?density问题没遇到过么?
这是常见问题,查看design rule,每个foundry的process都会有具体的要求
density 问题通常会影响yield

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