工艺的栅氧化层电容在哪个文件里面看啊
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工艺的栅氧化层电容在哪个工艺文件里面看啊
有的fab会提供。有的压根就没有..
用tox的数值,然后自己计算cox=esio2/tox
或者用simulation 验证..
3.9*8.85X10E(-12)/tox
谢谢了,楼上各位
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