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求教.35um下衬底掺杂或者衬底薄膜电阻一般为多大

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由此要做一些工艺仿真,所以现在需要知道0.35um下,衬底掺杂或者是衬底薄膜电阻的值为多大?  最好是SMIC的工艺值。
查了很多东西都没有,望有经验的高人指点一下。

自己顶起来,希望有高人可以指点。

看工艺文件  (见其他相关贴)

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