chrt35 工艺poly3为什么不能独立于poly2存在
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在使用chtr35工艺时,poly3,poly2是电容的上下两级,现在我想单独使用poly3,但是总是提示poly3 cannot exist wihtout poly2,这是为什么?从工艺实现上,如果不使用poly2而使用poly3会有什么后果?
1# wangweiww34
就算不用Poly2,画上不用也没关系啊!难道担心电容太大?
如果工艺说一定要,你就不能不画。如果你只画Poly3不画Poly2,你很可能得不到你画的Poly3因为Poly3可能被etch当下面没有Poly2。建议问问foundry!
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