有关工艺仿真参数
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最近在使用silvaco进行工艺仿真,但是不知道其中的那些参数该如何填写,比如参杂浓度或者是退火时间等等,这些参数是如何得到的,是需要有代工厂的工艺参数文件才能进行工艺仿真么?
如果不需要工艺参数文件,那这些参数是如何确定的呢?
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谢谢小编的分享了!
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