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二极管反偏电流在工艺库里是怎么计算的?

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用smic成都厂.35工艺,仿真mos管时,发现衬底到地的的电流与mos管d极有关,这个电流在d端电压接5V时,衬底接地时,hspice结果显示的是ibd电流,可以达到几个uA,这个可以认为mos管N极d端到衬底直接存在的二极管反偏,其反偏电流达到几个uA,mos管工作在饱和区,而用他上海厂的工艺就没有这个现象,这是不是说明成都的工艺有问题啊,二极管反偏电流太大了?
大家讨论一下吧!还有在工艺库里怎么看这个反偏电流?他的计算跟什么有关呢?

可能是model写的有问题吧

应该是衬底电流吧,nmos管衬底电流随VDS指数变化的

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