希望实现一个小的电容差值调节振荡器频率，求助

10:17:02
弱弱的问个问题，我在做一个DCO，需要实现一个步进0.1~0.3 f F的电容差值，但是现用工艺库里只有mim的电容，面积3u*3u，大概13p F，现在用3.1u*3u的电容与3u*3u的差值在仿真，但是很担心流片出来的工艺偏差，有没有做振荡器的老师有这方面的经验?请多指教
10:22:35
0.1fF很难控制了吧

10:23:25
嗯，确实是很小了，我们是做逆向的，人家原来用同层金属线之间的电容实现的，电容可以做很小
:23:46
但是我们现用的工艺只有mim的电容可以用
10:25:08
3.0和3.1匹配 效果应该不回很好
10:25:26
您指的效果是?
10:25:42
匹配
10:26:44
是很小，这么小的电容，频率步进应该很小吧。没做过这么小的，不敢胡说。
10:27:17
而且这样的话,你的面积会比别人大的
10:27:38
现在似乎只有这个办法能做出这个精度的电容差值了，唉~最担心工艺偏差上的问题
10:28:18
嗯，步进的频率大概在200KHz，面积是个问题
10:28:50
不过还好，学校里做的东西，不是产品，面积还是可以凑合的
10:29:25
他们是点几的工艺啊
10:29:42
点13
10:30:13
smic.13
10:31:11
这是你们选的工艺吧,我是说能看出来 ,他们用的是点几的工艺吗

10:31:49
嗯，也是点13的
10:32:57
人家用同层金属线之间的电容，可以做到很小
10:33:39
那为什么不学他们的做法,都是0.13的阿
10:35:47
没有相应的模型，不敢乱搞啊，估计人家用的工艺里有相应的模型吧，或者人家公司通过多次的流片对大概的经验值心中有数，我们没有这方面的经验，又没有相应的模型，用这样的结构不太现实啊
10:37:31
线与线的间距就那么一点点，近一点就短路了，这么小的值，没搞过啊
10:37:48
以前是听说过有这样的做法,不知道效果怎么样
10:38:59
不过SMIC的 工艺挺好的啊,说不定他们的工艺还不如 你的呢
10:40:31
嗯，也许吧，就但是现在的工艺没有相应的模型进行仿真，现在就是想实现一个受工艺偏差影响较小的电容差值
10:41:34
最好能从变容单元的结构上着手，但是想不到什么好办法，请大家帮忙想想吧^^
10:42:16
总不能真的吧十几个3u*3u的电容串接吧

聊天记录如上，小弟不懂的太多，比如楼上大哥说的匹配问题就不很明白，求各位大神指教

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