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同一层导线的线间电容如何计算?希望达人指点

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本人正在用0.13um的工艺设计数据总线,需要计算同层总线间的耦合电容,其电路模型是怎样的?具体的模型公式是什么,有没有达人指点一下,谢谢了!

晶圆场提供spice model document,上面有Metal对应的等效电容计算方法和参数。相对而言比单纯的理论计算准确。

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