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关于射频铝线串扰的问题

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在深亚微米工艺中,两条铝线靠得较近,其中一条传送射频信号,线宽0.3um,线距0.3um,铝线厚0.5um
请问发生串扰的途径是(多选)
1。分布电感
2。线间分布电阻
3。线间分布电容
4。电磁辐射
盼高手解答啊~

马扎一族,我等!

应该是分布电容和辐射,电感,电阻应该不可能

电磁辐射是肯定有的,你这个线距太近了
分布电容和分布电感应该还是和制造工艺有关吧

RE
NEED SIMULATION

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