MACOM：硅基氮化镓器件更具成本优势

"MACOM公司的第一款产品就是磁控管，但我们现在要用氮化镓器件来替代它了，"MACOM射频功率营销与业务拓展高级总监Mark Murphy一声轻叹。作为一家具有60多年历史的公司，MACOM在射频微波领域经验丰富，该公司的首款产品就是用于微波雷达的磁控管，后来从真空管、晶体管发展到特殊工艺的射频及功率器件（例如砷化镓GaAs）。进入2000年，尤其是2010年以后，MACOM开始通过频繁收购来扩充产品线与进入新市场，如今的MACOM拥有包括氮化镓（GaN）、硅锗（SiGe）、磷化铟（InP）、CMOS、砷化镓等技术，共有40多条生产线，3000多种产品，应用领域覆盖无线、光纤、雷达、有线通信及军事通信等领域，2016年营收达到了5.443亿美元。

氮化镓是目前MACOM重点投入的方向，与很多公司的氮化镓采用碳化硅（SiC）做衬底不同，MACOM氮化镓工艺的衬底采用硅基。"硅基氮化镓器件既具备了氮化镓工艺能量密度高、可靠性高等优点，又比碳化硅基氮化镓器件在成本上更具有优势，"Mark Murphy解释为何要采用硅来做氮化镓衬底，"与碳化硅基氮化镓相比，硅基氮化镓晶元尺寸可以做得更大，成长周期更短，良率更高，因此成本优势很大。"

右:MACOM射频功率营销与业务拓展高级总监Mark Murphy

左：MACOM中国销售总监孟爱国

MACOM现在已经在用8英寸晶圆生产氮化镓器件，与很多仍然用4英寸设备生产碳化硅基氮化镓的厂商相比，优势就非常大。MACOM的氮化镓技术用途广泛，在雷达、军事通信、无线和有线宽带方面都有应用。在MACOM展台，Mark Murphy展示了他提到的那款替代磁控管的产品，这颗功率为300瓦的硅基氮化镓器件被用来作为微波炉里磁控管的替代。

用氮化镓器件来替代磁控管带来好处很多：半导体器件可靠性更高，氮化镓器件比磁控管驱动电压更低，氮化镓模块尺寸更小，减少电控模块在微波炉的占用空间，功率变化和温度控制也更精确。

MACOM为夏普开发的微波炉方案

MACOM将类似微波炉的应用称为"射频能量应用"，微波炉市场规模不小，现在MACOM已经与多家微波炉厂商开始合作，"这台演示设备是为夏普开发的，那边还有为美的开发的方案。"Mark Murphy最后说道。