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拆解分析：三大厂最新九轴IMU内部构造揭密
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ST的组合式传感器元件在一颗MEMS单晶片上结合六轴陀螺仪/加速度计，使得此六轴功能的尺寸比先前采用两颗裸晶的方案缩小了30%以上。该款元件采用玻璃介质接合(Glass?Frit?Bonding)；但ST也会采用金-金热压接合(gold-goldthermo-compression)来密封部分MEMS裸晶，以免除密封框(sealingframe)的采用并缩小晶片面积。
ST的LSM9DS0九轴IMU内部之加速度计/陀螺仪电路(来源：SystemPlusConsulting，December2013)
Bosch的九轴感测器元件完全是自家出品
Bosch的组合式传感器是唯一所有功能(包括加速度计、陀螺仪与磁力计)是全部由该厂商自家开发与制造的；该款BMX055九轴MEMSIMU整合了Bosch的第二代地磁感测器(geomagneticsensor)，在单晶片支援三轴感测，取代前一代三颗独立晶片的方案。
此外BoschSensortec的元件采用铝锗薄膜接合(Al-Gebonding)来封装MEMS陀螺仪，并非采用传统的玻璃介质接合技术。
BoschSensortec的BMX055九轴IMU内部之三轴磁力计(来源：SystemPlusConsulting，December2013)
InvenSense九轴传感器元件尺寸、成本都缩减
